良性肿瘤放疗采用的设备及技术与治疗恶性肿瘤设备和技术基本一致，比较特别的技术及设备如下：

1、电子线技术：适用于皮肤表面的良性肿瘤、皮肤瘢痕或者纤维瘤，因其物理学特点，进入到一定深度后可达较高剂量，随着深度增加剂量快速下跌，皮肤表面肿瘤可通过补偿膜提高皮肤表面剂量，通过电子线照射可使疾病得到很好控制；

2、直线加速器：适用于深部以及周围危及器官较多的良性病变。