靶向药引起的间质性肺炎通常是药物性肺炎，对癌症进行靶向治疗时会损伤肺脏形成肺间质纤维化。所以针对靶向药物引起的间质性肺炎时，治疗一段时间后停药、减量或者加用激素，调节机体的免疫状态，减少靶向药引起的副损伤。
间质性肺炎形成后一定会损伤肺功能，患者呼吸窘迫的症状比较明显，需要在医生的指导下给患者做氧疗吸低浓度的氧，持续改善氧合状态，这样才能够缓解呼吸困难的症状。